多晶硅還原電極在發(fā)熱體使用中的表現(xiàn)
現(xiàn)有還原爐的每個(gè)電極上固定的是1根硅芯,而多晶硅還原電極發(fā)熱體的每個(gè)電極上固定的是4根硅芯,如果所用的硅芯與現(xiàn)有還原爐發(fā)熱體一樣長(zhǎng)、一樣的直徑,多晶硅還原電極發(fā)熱體的表面積就是現(xiàn)有發(fā)熱體硅芯的4倍。如果還原爐里的壓力、流量和溫度等工藝條件不變,采用該發(fā)熱體的生產(chǎn)速度就是原來(lái)的4倍,因此,多晶硅還原電極發(fā)熱體可以大幅度加快生產(chǎn)速度。采用多晶硅還原電極發(fā)熱體,除了石墨電極不同外,還原爐的其他部件都不需要作任何改動(dòng),所以用起來(lái)比較容易。由于還原爐沒(méi)有變,所以三氯氫硅和氫氣的流量也可以不變,也就是說(shuō),生產(chǎn)的速度快了,生產(chǎn)的多晶硅多了,而尾氣帶出的熱量沒(méi)有變,損失的電能是一樣的,因此,可以節(jié)約電能,降低生產(chǎn)成本。
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